Tómarúm magnetron sputtering tækni er notkun kvenkyns, tvískauta rafskautsyfirborðsins með segulsviði rafeindarinnar í bakskautyfirborðsrekinu, með því að stilla markyfirborðs rafsviðið hornrétt á segulsviðið, rafeind eykur högg, eykur jónunarhraða af gasinu, en háorkuagnirnar gasa og missa orku eftir áreksturinn og lækka þannig undirlagshitastigið, fullkomið húðun á óhitaþolnu efni.