Innbyggt sputtering kerfi
-
Inline Magnetron sputtering kerfi
Inline Magnetron sputtering kerfi er eins konar tómarúm þunn filmu útfellingarbúnaður sem virkar í mismunandi tilgangi.Algengustu forrit sputtering línu okkar þar á meðal:
Framleiðsla á spegla úr áli
- ITO glerhúð
- Anti-reflective gler
- Skreytt húðun fyrir ryðfríu stáli og gleri
Þetta húðunarkerfi er hentugur fyrir hágæða tómarúmhúðunarnotkun.Það framleiðir stöðugan vinnuafköst til að bæta gæði tómarúmhúðunarfilma.
-
ITO Gler Magnetron Sputtering Coating Line
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line samþykkir lofttæmimagnetron sputtering tækni og ójafnvæga magnetron sputtering tækni til að húða hágæða flotgler með SO2/ITO lagi.Byggt á alþjóðlegu háþróuðu eftirlitskerfi.Allt framleiðsluferlið virkar sjálfkrafa og stöðugt.
-
Álspegill Inline Magnetron Sputtering Line
Álspegill Inline Magnetron Sputtering Line er hönnuð fyrir mikla framleiðslu í glerspeglaframleiðslu.Til þess að húða stærra gler og gæta að viðkvæmum glerplötum, sérstaklega fyrir stóru blöðin, gerum við venjulega lárétta gerð af sputteralínu.Það er samfelld segulrónuhúðunarlína, með gróft dæluhólf að framan og aftan, og eftir umbreytingarhólfið, fyrir og eftir fína dæluhólfið, stuðpúðahólf, lithúðunarherbergi.
Markhönnun: sívalur segulrónskautandi bakskaut eða/og planar bakskaut.
Aflgjafi: aflgjafi með mikilli DC eða MF segulrónsputtering
Drifkerfi: keflisdrif, tíðnistillanlegt, innleiðslukerfi til að opna herbergishurð.
Tómarúmskerfi: dreifingardæla (eða túrbó sameindadæla) + rótardæla + vélræn dæla
