Álspegill Inline Magnetron Sputtering Line
Aðalatriði
- Álspegill Inline Magnetron Sputtering Line er venjulega með mörgum lofttæmishólfum til að klára lofttæmishúðina á glerplötum.
- Aðalatriði:
- 1.Max.glerhúðastærð:2440x3660mm eða sérsniðin
- 2. Multi-vacuum hólf og multi-sputtering hólf hönnun eru fáanleg
- 3. Lárétt segulmagnaðir stjórnunarlína hefur einhliða og tvöfalda enda uppbyggingu;Tvöföld glerhreinsun, húðun, uppgötvun, málun, þurrkun, kæling er hægt að klára allt í einu
- 4. Sputtering húðunarlínan notar PLC til að stjórna öllu ferlinu og er búin litaskjá til að sýna húðunarferlisgögnin
Lag af húðun: Títan, króm, ryðfrítt stál, ál, silfur, kopar osfrv.
- Efnasamband: TiN, TiO2 osfrv.
- Lagþykkt: 5-100nm
- Sending: 8-40% við 380-780 nm bylgjulengdir
- Útfellingarhiti: stofuhiti
- Lokaþrýstingur eftir 8 klst niðurdælingu:
- Inngöngulæsahólf og lofttæmislæsahólf: 5×10-1 Pa eða undir
- Buffer Chamber 1: 3×10-3 Pa eða lægri
- Sputtering Chamber: 2×10-3 Pa eða undir
- Buffer Chamber 2: 3×10-3 Pa eða lægri
- Útgangshólf og lofttæmislás: 5×10-1 Pa eða undir
Skrifaðu skilaboðin þín hér og sendu okkur
