-Ein/tvær hurðir
Rammi og hólf eru úr kolefnis ryðfríu stáli.
Hver hurð veitir skoðunarglugga fyrir sjónræna stjórn á ferlinu.Hurðarveggirnir eru með ryðfríu stáli sem auðvelt er að fjarlægja til viðhalds.
-Sérsniðið tómarúmhólf
Hólfið veitir innri fóður úr ryðfríu stáli sem auðvelt er að fjarlægja til að þrífa.
Dælurnar standa á afturhluta þess.
Hólfið er með röð af litlum flansum í þeim tilgangi að mæla.
-Hátt lofttæmi dælukerfi
Dreifisdæla+Booster pump+Vélræn dæla
-Tómarúmsmæling og eftirlit
Með Pirani málmi+málmijónunarmæli
-Innbúnaður hreyfanlegur kerfi
-PLC stýrieining
-Ál uppgufunarkerfi með miklum kraftspenni
-Járn grind
Uppbyggingin er sanngjörn
Filmulagið er einsleitt
Kvikmyndandi gæði
Hár dæluhraði, stutt vinnulota og mikil framleiðslu skilvirkni
Rekstur er þægilegur
Lítil orkunotkun og stöðugur árangur
Gerðarnúmer | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Tvær hurðir eða tveggja hólfa gerð eru fáanleg | |
Mál tómarúmslofts (þvermál * hæð) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Efni í lofttæmishólfinu | Kolefnisstál, SUS304 eða SUS316L | ||||||
Tækni að vinna | lofttæmisviðnám uppgufun með wolfram- og álþráðum, uppgufunarspennir með miklum krafti | ||||||
Dælukerfi | Dreifisdæla+vélrænar dælur, örvunardæla | ||||||
Dælingartími | Frá andrúmslofti í 5,0*10-2Pa minna en 8 mínútur | ||||||
Tómarúm takmörk | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Vinnuhitastig | Stofuhiti | ||||||
Vinnuhamur | Sjálfvirk eða handvirk stilling, með 10,4 tommu PLC snertiskjá | ||||||
Heildarkraftur | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Fótspor | 2*2 metrar | 2*3 metrar | 3*3 metrar | 3*3 metrar | 3*4 metrar | 4*5 metrar | 5*6 metrar |
Þessar einingar er hægt að sérsníða | 1. Stærð tómarúmslofts 2. Stillingar dælna | ||||||
Valfrjáls hljóðfæri | 1. Lekaskynjari 3. Bogajónaútfellingarkerfi 4. Magntron sputtering kerfi |